百級、千級、萬級、十萬級凈化車間設計要求
百級、千級、萬級、十萬級凈化車間設計要求
100級、10000級、100000級、1000000級;凈化車間可根據(jù)要求設計、施工,百級、千級、萬級、十萬級潔凈室潔凈度。
一、凈化車間的規(guī)格:
凈化車間的規(guī)格一般適用于美國聯(lián)邦規(guī)格No.209B。這個規(guī)格對凈化間的環(huán)境要素即空氣潔凈度、溫濕度、室內壓等都進行了規(guī)格化規(guī)定。
但是,伴隨著潔凈凈化工程度的不斷提高,美國聯(lián)邦規(guī)格進行了改版,其內容主要是以潔凈度進行分類。
最新版已成為No209E,名稱也進行了變更。No.209E的級別表示是把0.5um以上的顆粒數(shù)為10x個/m3,把X表示成級別,同時加上米制M的意思,表示成M3.5等等。
在美國聯(lián)邦規(guī)格No.209B,美國聯(lián)邦規(guī)格No.209E。
在日本,相應的規(guī)格是9920。9920的級別表示是把0.1um以上的顆粒數(shù)規(guī)定為10X個,用Y表示級別。9920的級別的主要內容。
無塵車間不同用途所要求的潔凈度:
如前所述,凈化間的級別一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)4個級別。但根據(jù)各產業(yè)領域的作業(yè)工序不同,形成必要的級別是不一樣的。例如,在半導體制造工廠等里邊,根據(jù)作業(yè)內容,要求有M1(10)—M5.5(1000)的凈化間。而且,在制藥工廠里,根據(jù)產品的純度、作業(yè)工序,需有從M3.5到M6.5(100,000)范圍廣泛的級別不等凈化間。因此說,各種產業(yè)所需要的凈化間,其要求的潔凈度是不同的。
生物凈化間級別:
100級、10000級、100000級;
粒子生物粒子:室內壓力Pa,mmH2O,溫度℃,濕度%氣流換氣次數(shù),照度Lx,粒徑um。
潔凈無塵車間潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。
2、光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之水冷柜機+增壓新風柜+高效送風口與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小機房內或凈化車間內,增壓風柜也可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。
優(yōu)點:
A.空氣處理效果較好的,處理過后的空氣在送風過程中被污染程度低。送風的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風柜)里進行控制;
B.布置靈活。自帶冷源;
C.大小廠房、新舊廠房都適用;
D.維修頻率較低;
E.車間噪音低。
缺點:
A.需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;
B.空調機組與空調處理機組要集中布置;
C.造價較低。特點:這種方案可以是一次回風也可以是二次回風,具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。
3、光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之分體空調柜機+FFU高效送風口這是更簡易的一個空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車間內,并用彩鋼圍護起來,在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網(wǎng));”梓凈”牌風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂送風天花。這個方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間。
優(yōu)點:
A.不需要占用機房面積,布置很靈活的;
B.可以滿足空氣的潔凈度;
C.造價最低。如此類無塵車間初投資約需要40萬;
D.送風均勻度好。
缺點:
A.溫濕度控制較差;
B.可以滿足空氣的潔凈度;
C.FFU的維修頻率高。
4、光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之無塵車間的特點
A、無塵車間
潔凈無塵車間潔凈度:
LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
在本設計里是指末端工藝的一些無塵車間,其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產品的沖壓車間、組裝等無塵車間,其潔凈度一般為萬級或十萬級。
潔凈無塵車間室內空氣參數(shù)要求:
(1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。
(2)新風量大。由于這類車間內,人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。
(3)送風量大。為了滿足潔凈室內的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬級,送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。