光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程的基本要求
隨著科技的不斷發(fā)展，光學(xué)微電子行業(yè)在我國(guó)得到了迅速的發(fā)展。光學(xué)微電子產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于光通信、光顯示、光存儲(chǔ)等領(lǐng)域，其質(zhì)量直接影響到產(chǎn)品的性能和可靠性。為了確保光學(xué)微電子產(chǎn)品的生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn)，凈化工程在光學(xué)微電子行業(yè)扮演著至關(guān)重要的角色。以下是光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程的基本要求：

一、潔凈度要求
潔凈度等級(jí)：光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程《潔凈室空氣調(diào)節(jié)用空氣過(guò)濾器》標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)不同生產(chǎn)環(huán)節(jié)的要求，選擇相應(yīng)的潔凈度等級(jí)。通常，光學(xué)微電子行業(yè)潔凈度等級(jí)分為N1級(jí)至N10級(jí)。

潔凈度控制：通過(guò)高效空氣過(guò)濾器（HEPA）對(duì)送風(fēng)進(jìn)行處理，確保送風(fēng)潔凈度達(dá)到要求。同時(shí)，對(duì)回風(fēng)進(jìn)行過(guò)濾，減少室內(nèi)塵埃顆粒的積累。

二、溫濕度控制
溫度：光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程對(duì)溫度的要求較高，一般控制在20℃±2℃范圍內(nèi)。溫度波動(dòng)過(guò)大會(huì)影響光學(xué)微電子產(chǎn)品的性能。
濕度：濕度控制在40%-60%之間，避免因濕度過(guò)高導(dǎo)致產(chǎn)品受潮或因濕度過(guò)低導(dǎo)致靜電積累。

三、氣流組織
氣流速度：光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程中，氣流速度應(yīng)控制在0.2-0.5m/s之間，以確保塵埃顆粒在氣流作用下被有效控制。
氣流方向：氣流方向應(yīng)從潔凈度高的區(qū)域流向潔凈度低的區(qū)域，避免交叉污染。

四、防靜電措施
靜電防護(hù)材料：使用防靜電地板、防靜電工作臺(tái)等靜電防護(hù)材料，降低靜電產(chǎn)生。

靜電消除設(shè)備：安裝靜電消除器，及時(shí)消除靜電。

五、潔凈室裝修
裝修材料：選用符合環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)的裝修材料，避免有害物質(zhì)釋放。

裝修工藝：采用無(wú)塵施工工藝，確保裝修過(guò)程中不產(chǎn)生塵埃。

六、設(shè)備選型與安裝
設(shè)備選型：根據(jù)生產(chǎn)需求，選擇合適的凈化設(shè)備，如高效空氣過(guò)濾器、風(fēng)機(jī)、風(fēng)管等。

設(shè)備安裝：嚴(yán)格按照設(shè)備說(shuō)明書(shū)進(jìn)行安裝，確保設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定。

總之，光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程的基本要求涵蓋了潔凈度、溫濕度、氣流組織、防靜電、裝修和設(shè)備選型與安裝等方面。只有滿(mǎn)足這些基本要求，才能確保光學(xué)微電子產(chǎn)品在生產(chǎn)過(guò)程中的質(zhì)量，為我國(guó)光學(xué)微電子行業(yè)的發(fā)展提供有力保障。

無(wú)塵車(chē)間潔凈室裝置與規(guī)劃:
潔凈室選用不同的送風(fēng)及回風(fēng)體系的不同規(guī)劃是決議車(chē)間不同潔凈度等級(jí)的決議性要素。
1、標(biāo)準(zhǔn)組合式空調(diào)風(fēng)柜+空氣過(guò)濾體系+潔凈室通風(fēng)保溫管道+HEPA高效送風(fēng)口+潔凈室回風(fēng)管道體系。這種方式能不斷循環(huán)和補(bǔ)充新風(fēng)進(jìn)入潔凈室車(chē)間內(nèi)，以達(dá)到出產(chǎn)環(huán)境所需的潔凈度。
2、潔凈室天花裝置FFU空氣凈化器直接往潔凈室送風(fēng)+回風(fēng)柱回風(fēng)體系+吸頂式空調(diào)機(jī)制冷。這種方式一般用于環(huán)境潔凈度要求不是非常高的場(chǎng)合，而且成本相對(duì)低一些。

質(zhì)量要求
生產(chǎn)車(chē)間按生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量要求，分為一般生產(chǎn)區(qū)、控制區(qū)和。設(shè)人員換鞋區(qū)、男女一、二次更衣室、洗手、手消毒、洗衣間、風(fēng)淋通道、潔凈人流走廊、物流貨淋室，貨淋走道通道、注塑間、膠墊吹塵、中儲(chǔ)庫(kù)、組裝間、內(nèi)包裝間、外包裝間及機(jī)房、物流等。機(jī)房設(shè)在三樓天面原小房間中，需做隔音防震處理; 冷卻塔及冷卻泵置于三樓天面;設(shè)備運(yùn)行負(fù)荷符合樓板承重要求。
流動(dòng)方向
人員流動(dòng)方向：換鞋、更衣、洗手、手消毒–風(fēng)淋室–潔凈走廊–潔凈車(chē)間
在凈化車(chē)間及走廊設(shè)安全門(mén), 便于人員疏散。
物品流動(dòng)方向：物流通道——潔凈車(chē)間——–成品包裝凈化空調(diào)系統(tǒng)。

潔凈室標(biāo)準(zhǔn)要求必須達(dá)到百級(jí)或者萬(wàn)級(jí)，30萬(wàn)級(jí)，必須配風(fēng)淋室，傳遞窗，FFU，高效送風(fēng)口，超凈工作臺(tái)，空氣過(guò)濾器等等。