電子電器無(wú)塵車間凈化工程裝修-電子潔凈廠房設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)
電子電器無(wú)塵車間凈化工程裝修(電子潔凈廠房設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn))彩鋼板隔間裝修工程,電子電器無(wú)塵車間工程——電子制造潔凈車間——無(wú)塵車間——凈化工程——電子潔凈廠房設(shè)計(jì),電子制造潔凈車間亦名無(wú)塵室或潔凈室,目前已是半導(dǎo)體、制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來(lái),由于技術(shù)之發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司擁有多年國(guó)內(nèi)外電子制造潔凈車間、無(wú)塵車間的設(shè)計(jì)、制作、安裝經(jīng)驗(yàn),設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中。
電子電器無(wú)塵車間凈化工程適用場(chǎng)所:電子廠,半導(dǎo)體廠,光電產(chǎn)業(yè),機(jī)電房.恒溫恒室實(shí)驗(yàn)室,百級(jí)無(wú)塵車間潔凈廠房等。
1、電子電器無(wú)塵車間凈化路線:
電子電器無(wú)塵車間為了在操作中盡量減少人活動(dòng)產(chǎn)生的污染,人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前,必須更換潔凈服并吹淋、洗澡、消毒。這些措施即“人身凈化”簡(jiǎn)稱“人凈”。
人凈用房中更換潔凈服的房間應(yīng)予送風(fēng),并對(duì)入口側(cè)等其他房間保持正壓,對(duì)廁所、淋浴保持少許正壓,而廁所、淋浴應(yīng)保持負(fù)壓。
2、電子電器無(wú)塵車間物料凈化路線:
各種物件在送入潔凈區(qū)前必須經(jīng)過(guò)凈化處理,簡(jiǎn)稱“物凈”。物料凈化路線與人凈路線應(yīng)分開(kāi),如果物料與人員只能在同一處進(jìn)入潔凈室,也必須分門(mén)而入,物料并先經(jīng)過(guò)粗凈化處理。電子制造潔凈車間氣流→初效過(guò)濾器凈化→空調(diào)→中效過(guò)濾器凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化高效送風(fēng)風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效過(guò)濾器凈化 重復(fù)以上過(guò)程,即可達(dá)到凈化目的。
電子制造潔凈車間節(jié)能原則:電子制造潔凈車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方,例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。電子制造潔凈車間之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩,很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本,會(huì)造成電子制造潔凈車間的運(yùn)行性能降低和能耗增加。
一、電子電器無(wú)塵車間主體工程:
1、地面:
A、主廠房:承載力>=2噸/平方米,有防水層,面層要求水磨石,設(shè)備房地面承載力要求>2噸/平方米,面層為水泥漿原漿找平;
B、庫(kù)房:一樓地面要求承載力>=3噸/平方米,二樓地面承載力>500 kg/㎡,面層均要求水磨石,水磨石表面平整,接縫平直,縫漿飽滿,縱橫方向無(wú)明顯錯(cuò)臺(tái)錯(cuò)位,地面找平處理后,局部的平整度誤差不得高于2mm/2M2;
C、氫氣站、硅烷站地面承載力>2噸/平方米,面層為水泥漿原漿找平;
2、高度:要求廠房最低凈高6000mm;倉(cāng)庫(kù)層高5000mm;
3、跨度:橫向8000m,縱向7~8m(見(jiàn)詳設(shè)備布局圖),設(shè)備房寬度要求9000m;
4、屋面荷載:空調(diào)機(jī)房頂屋面要求>500kg/㎡,尾氣處理位置>500 kg/㎡(本荷載沒(méi)有考慮風(fēng)載、雪載等,若有屋頂發(fā)電站則要考慮電站的基本參數(shù));
5、裝修:設(shè)備房、庫(kù)房、非潔凈區(qū)域、氫氣站、硅烷站要求中級(jí)抹灰粉刷,潔凈區(qū)域要求水泥砂漿粉刷,衛(wèi)生間按中等標(biāo)準(zhǔn)裝修;
6、門(mén)、窗:
A、 門(mén):進(jìn)/出貨門(mén)為5000×5000MM卷簾門(mén),向外開(kāi)的衛(wèi)生間門(mén)為850mm×3000mm,設(shè)備房外墻門(mén)為3500×3000mm,安全逃生門(mén)為1200mm×3000mm,其他外墻門(mén)為4000mm×3000mm;
B、窗:廠房窗為高窗,窗臺(tái)高度為4000mm,每跨有一扇可推拉;庫(kù)房窗一樓為高窗,窗臺(tái)高度為4000mm,每跨有一扇可推拉,二樓以上按標(biāo)準(zhǔn)廠房設(shè)計(jì);
C、泵房窗:泵房窗為固定磨砂玻璃隔熱保溫窗,每跨有一扇可推拉,長(zhǎng)方向要設(shè)計(jì)對(duì)流排氣風(fēng)機(jī)且要考慮冬季保溫;
D、天窗設(shè)置要符合設(shè)備布置要求;
E、參觀窗(樓梯)設(shè)置要符合二次裝修及參觀通道設(shè)計(jì)要求;
7、衛(wèi)生間:衛(wèi)生間布局要按照甲方統(tǒng)一圖紙規(guī)劃;
8、氫氣站、硅烷站、氮?dú)庹尽⑻貧夥康脑O(shè)計(jì)均要按照相關(guān)規(guī)范及甲方設(shè)備布局要求進(jìn)行設(shè)計(jì);
9、消防工程:主廠房消防設(shè)計(jì)要根據(jù)二次裝修需求和布局進(jìn)行統(tǒng)一設(shè)計(jì),滅火器要求用手推式二氧化碳滅火器;設(shè)備房、特氣房、氣站及庫(kù)房可按照相關(guān)消防規(guī)范、標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì),特氣站、特氣房的防雷、避雷和防靜電要符合要求,主廠房?jī)?nèi)部防火墻的設(shè)計(jì)應(yīng)按照裝修布局給予考慮;
10、照明:庫(kù)房、設(shè)備間、衛(wèi)生間的照明按相關(guān)規(guī)范進(jìn)行設(shè)計(jì),主廠房?jī)?nèi)部照明不需設(shè)計(jì);
11、電梯與卸貨平臺(tái):庫(kù)房電梯要求B1800mm×L3000mm,電梯開(kāi)門(mén)寬度最少1800mm,載重>3噸;卸貨平臺(tái)要按照要求設(shè)置;
12、設(shè)備配套設(shè)施:
A、設(shè)備接地布置要按照設(shè)備布置圖進(jìn)行設(shè)計(jì);
B、設(shè)備排水(管/溝)及循環(huán)水設(shè)施要按照工藝及設(shè)備布置要求進(jìn)行設(shè)計(jì);
C、地面鋪設(shè)鋼板位置要按照設(shè)備布置要求進(jìn)行設(shè)計(jì);
D、循環(huán)水池和循環(huán)水的設(shè)計(jì)要按照工藝要求進(jìn)行設(shè)計(jì);
E、設(shè)備房及屋頂設(shè)備的設(shè)備基礎(chǔ)要按照設(shè)備基礎(chǔ)設(shè)計(jì)要求進(jìn)行設(shè)計(jì);
F、自來(lái)水用量要求:80T/H,各進(jìn)水口具體位置要滿足工藝要求,且每處進(jìn)水口均應(yīng)配備閘閥和水表;電用量要求:10000KVA;
G、供熱:設(shè)備房、庫(kù)房、衛(wèi)生間按當(dāng)?shù)毓針?biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì),廠房空調(diào)房區(qū)域應(yīng)預(yù)留DN300的熱水管,壓力為0.3MPa~0.4MPa,水溫60~80℃,具體供暖在二次裝修考慮;
H、車間層壓機(jī)段要設(shè)計(jì)地下室(用于做真空泵,本地下室需要通風(fēng)排風(fēng),防水設(shè)計(jì));
I、廠房為丙類。
二、超凈裝修設(shè)計(jì)要求:
(1)、車間布局與結(jié)構(gòu)
1、凈化區(qū)域各房間吊頂標(biāo)高:
車間凈化工程中正常區(qū)域的標(biāo)高為2.8m,PECVD區(qū)域?yàn)樘厥鈪^(qū)域,其標(biāo)高為3m。彩鋼板防火墻設(shè)置要符合消防規(guī)范要求,在潔凈區(qū)域與非潔凈區(qū)域交接處的墻體應(yīng)做到屋面板底。
2、凈化區(qū)域隔墻:
車間凈化區(qū)域的隔墻需嚴(yán)格按照公司提供的圖紙施工,對(duì)特殊區(qū)域有要求按先后順序施工的必須按公司要求進(jìn)行施工。
3、地坪指標(biāo)要求:
3.1、車間地坪需要做平整,在一平方米區(qū)域內(nèi)伏不超過(guò)1mm,以便設(shè)備安裝找平;
3.2、車間地坪不會(huì)脫層、不起灰塵及耐磨,不起泡,氣泡允許每平方米1個(gè),且要小于直徑2mm。
3.3、地面要求:超凈間地面要求用環(huán)氧樹(shù)脂自流平,組件段采用環(huán)氧薄涂,氣體房(含氫氣、硅烷及特氣間)也用薄涂。
4、車間鋼質(zhì)鋼板門(mén)和窗的尺寸:
4.1、單扇門(mén)的尺寸為1000*2100mm;
4.2、雙開(kāi)門(mén)的尺寸為2200*2700mm;
4.3、安全逃生門(mén)的尺寸為1200*2100mm;
4.4 防火墻防火門(mén)尺寸為2400*2800mm;
4.5、活動(dòng)墻的尺寸為4000*2700mm(施工中可分成兩扇2000*2700mm);
4.6、PECVD后的觀察窗的尺寸為300*150mm,辦公室、冷卻間門(mén)上的觀察窗為尺寸為350*500mm;
4.7、層壓機(jī)、白玻璃清洗機(jī)、一次清洗機(jī)觀察窗的尺寸為:1150*400mm;
注:相同型號(hào)門(mén)開(kāi)孔的高度需一致。
5、設(shè)備隔墻準(zhǔn)確位置、開(kāi)口大?。?br /> 因部分設(shè)備在安裝過(guò)程中有穿過(guò)彩鋼板,因此隔墻的開(kāi)口位置、大小應(yīng)適應(yīng)設(shè)備需求現(xiàn)場(chǎng)開(kāi)口。
6、車間風(fēng)淋室:
人員進(jìn)入超凈前應(yīng)經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室,風(fēng)淋室為雙人通行。風(fēng)淋室應(yīng)自帶互鎖裝置,人員進(jìn)入風(fēng)淋室在未達(dá)到預(yù)設(shè)吹風(fēng)時(shí)間的情況下不能進(jìn)入車間,吹完后人員進(jìn)入車間,在出門(mén)未合上前進(jìn)門(mén)不能開(kāi)啟,直到出門(mén)合上后方可打開(kāi)進(jìn)門(mén)放人員進(jìn)入。貨物風(fēng)淋間開(kāi)門(mén)尺寸為2200*2400mm。
7、無(wú)塵車間頂部的消防排煙裝置:
設(shè)計(jì)單位在設(shè)計(jì)時(shí)需要對(duì)無(wú)塵車間頂部的消防排煙送風(fēng)及排風(fēng)做好設(shè)置。現(xiàn)在土建施工圖上已有設(shè)計(jì)的部分要盡量充分利用。
8、緊急逃生門(mén)為專用逃生門(mén)。
9、車間消防設(shè)施:
車間消防需按消防標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì),消防噴淋采用空氣預(yù)作用啟動(dòng)方案進(jìn)行設(shè)計(jì),在冷卻區(qū)、退火區(qū)和PECVD區(qū)域的噴淋頭要求耐高溫>120度。
(2)、空調(diào)部分
1、車間溫度、濕度、潔凈度指標(biāo)
車間潔凈區(qū)的溫度為25℃±2℃,濕度30%~60%,潔凈度超凈都為10萬(wàn)級(jí)。更衣室、風(fēng)淋間、冷卻間、工件架擦拭、工件架清洗采用10萬(wàn)級(jí)送風(fēng),排風(fēng)采用直排。退火間、冷卻間的溫度應(yīng)控制在30℃以下,濕度應(yīng)小于<60%。
2、車間工藝用冷卻循環(huán)水使用單獨(dú)的制冷設(shè)備,工藝?yán)鋮s水在往設(shè)備供水時(shí)應(yīng)保證供水的水溫在17-21℃。
3、凈化送風(fēng)風(fēng)口以及非凈化送風(fēng)風(fēng)口位置要求:
凈化區(qū)風(fēng)口與非凈化區(qū)風(fēng)口除PECVD外沒(méi)有特殊要求,只要能滿足溫度及濕度要求即可。PECVD風(fēng)口要求:高效送風(fēng)口不得直吹PECVD沉積室及預(yù)熱爐,回風(fēng)口不得安排在PECVD沉積爐排氣管后面。
4、空調(diào)機(jī)組所需電力需求、占地面積:
設(shè)計(jì)單位應(yīng)提供空調(diào)機(jī)組所用的功率,空調(diào)機(jī)房機(jī)組設(shè)備基礎(chǔ)所占用的面積和基礎(chǔ)圖,以便在前期施工中實(shí)施。
5、空調(diào)用水量的預(yù)估
設(shè)計(jì)單位在中標(biāo)后,應(yīng)及時(shí)提出空調(diào)的冷、熱水用水量,以便在土建過(guò)程中完成管道的施工。
6、空調(diào)的控制要求:
因生產(chǎn)過(guò)程中車間空調(diào)屬無(wú)人值班的設(shè)備,因此設(shè)計(jì)單位在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)采用自動(dòng)控制系統(tǒng),以便設(shè)備的正常運(yùn)行。
7、空調(diào)回風(fēng)過(guò)濾要求:
空調(diào)送風(fēng)是10萬(wàn)級(jí)的,經(jīng)過(guò)與超凈間內(nèi)部空氣的接觸,整個(gè)回風(fēng)中會(huì)攜帶大量的細(xì)小粉塵回到空調(diào)主風(fēng)箱中而污染主風(fēng)箱過(guò)濾網(wǎng),因此在所有的空調(diào)回風(fēng)口都需要安裝過(guò)濾網(wǎng)。
8、排風(fēng)要求:
退火間、冷卻間、工件架擦拭間、工件架清洗機(jī)、車間門(mén)口換鞋區(qū)都應(yīng)采取單獨(dú)排風(fēng)系統(tǒng),上述回不得與其它區(qū)域的回風(fēng)混合。各排風(fēng)量需設(shè)計(jì)單位依據(jù)各功能間的面積算好換風(fēng)次數(shù),排風(fēng)次數(shù)要求大于30次/小時(shí),以保證各功能間的正常使用。
9、風(fēng)管制作安裝要求:
設(shè)計(jì)單位設(shè)計(jì)空調(diào)管路時(shí)要注明管路材料標(biāo)準(zhǔn),風(fēng)管制作時(shí)應(yīng)保證材料表面的清潔,送風(fēng)管道及回風(fēng)管道在安裝完后應(yīng)及時(shí)做好密封工作。
10、其它要求
通風(fēng)管道在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)避開(kāi)車間采光口(采光口詳見(jiàn)車間土建施工圖紙)。
11、空調(diào)冬季制暖使用熱水制暖的形式。
12、每個(gè)消火栓和閘閥均應(yīng)設(shè)計(jì)獨(dú)立可開(kāi)的彩鋼門(mén)。
(3)、電器部分
1、超凈間各房間照度要求:
超凈間照度在>150(LUX),員工操作區(qū)域?yàn)?50LUX。
2、凈化間照明控制要求:
2.1凈分間照明可采用本地控制加分片總控,單個(gè)開(kāi)關(guān)控制照明燈小于20盞;
2.2 PECVD的照明控制需要離開(kāi)PECVD沉積室一定的距離(大于8米);此部分燈具要求耐高溫》120度且不能直接裝在PECVD頂部,應(yīng)設(shè)計(jì)在兩沉積室的中間頂部或前方。
3、凈化間插座安裝位置、高度要求:
3.1凈化間的每一根柱子上都需要安裝插座面板,面板上需要有一個(gè)兩孔插座及一個(gè)三孔插座,高度為離地面75cm;
3.2 非凈化區(qū)凈化區(qū)的每根柱子上也需要安裝插座面板,面板上需要有一個(gè)兩孔插座及一個(gè)三孔插座,高度為離地面75cm;
4、照明、插座以及動(dòng)力設(shè)備電源引入位置:
照明與插座將共用一路主電源,照明也同樣需要經(jīng)過(guò)漏保,電源將從車間配電房引入,動(dòng)力電也是從車間電房引入,吊頂以上要有維修照明燈和維修插座。
5、消防用電源引入位置。
消防用電從車間配電房?jī)蓚€(gè)不同的變壓器下的低壓柜引入。
6、安全指示牌、應(yīng)急燈都需按標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計(jì)(盡量充分利用土建施工現(xiàn)有設(shè)計(jì)的部分)。
7、非超凈間的照明要求:
7.1 超純水房、空調(diào)房的照度為100LUX;
7.2 氣體房的照度為100LUX,氣體房的燈應(yīng)使用防爆燈。
7.3 磨邊區(qū)、組件后段的照度為150LUX,操作區(qū)域?yàn)?50LUX,采用節(jié)能燈(鋁合金廣照燈)。
8、工藝設(shè)備用電:
8.1工藝設(shè)備用電依設(shè)備需要確定給設(shè)備配備電纜,設(shè)備電纜在設(shè)計(jì)過(guò)程中需滿足設(shè)備工藝用電的需求,能確保設(shè)備用電安全;
8.2 精密設(shè)備與其它動(dòng)力設(shè)備需分開(kāi)單獨(dú)拉線,如激光設(shè)備的電纜需與其它設(shè)備用電分開(kāi)。
9、配電箱設(shè)計(jì):
每個(gè)配電箱在設(shè)計(jì)時(shí)除把主要用電設(shè)備的空開(kāi)計(jì)算在內(nèi),另外還需留有一些備用空開(kāi)以滿足增加部分設(shè)備及維修接電。
10、車間配電房接地:
因車間設(shè)備均屬于大功率設(shè)備,設(shè)備使用過(guò)程中會(huì)有很大的電流。因此在電房建造過(guò)程中應(yīng)做好電房接地,以保證車間設(shè)備的使用安全。
11、所有設(shè)備和功能性電源的電纜均應(yīng)按最短路徑原則進(jìn)行設(shè)計(jì),電纜和空開(kāi)的計(jì)算不要太保守盡量不擴(kuò)大系數(shù)。
(4)、水部分:
1、自來(lái)水,車間生產(chǎn)過(guò)程中需使用自來(lái)水的地方:
1.1 純水間;
1.2 磨邊間;
1.3 氣體房;
1.4 空調(diào)房;
注:以上地點(diǎn)用水量視車間規(guī)模大小而定,設(shè)計(jì)部門(mén)將依車間用水需求而定輸水管徑的大小。管道每一分段主管需增設(shè)主閥門(mén),未端需增設(shè)分控閥門(mén),以便設(shè)備維修時(shí)控制。
2、超純水,車間生產(chǎn)過(guò)程中需接入超凈水的設(shè)備:
2.1 二次導(dǎo)電玻璃清洗(導(dǎo)電玻璃一次清洗將使用二次清洗使用過(guò)的水);
2.2 白玻璃清洗;
2.3 芯片清洗;
注:設(shè)計(jì)部門(mén)將依車間用水需求而定輸水管徑的大小。管道每一段需設(shè)一個(gè)主閥門(mén),未端需設(shè)分控閥門(mén),以便設(shè)備維修時(shí)控制??紤]到各清洗工序?qū)τ盟馁|(zhì)量高,因此在純水供水點(diǎn)的未端需加一個(gè)電阻率測(cè)量?jī)x,以便及時(shí)掌握純水設(shè)備產(chǎn)水的情況。
3、冷卻循環(huán)水,車間生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)使用到冷卻循環(huán)水的設(shè)備:
3.1 PECVD匹配器、分子泵;
3.2 PECVD真空泵系統(tǒng);
3.3 磁控線真空泵系統(tǒng)、磁控線加熱箱冷卻系統(tǒng)、靶材冷卻;
3.4 層壓機(jī)真空泵系統(tǒng);
注:設(shè)計(jì)部門(mén)將依車間用水需求而定輸水管徑的大小。管道每一段需設(shè)一個(gè)主閥門(mén),未端需設(shè)分控閥門(mén),以便設(shè)備維修時(shí)控制。管道焊接時(shí)應(yīng)及時(shí)將橡塑保溫管套上,防止管道表面結(jié)露水。
4、水循環(huán)利用補(bǔ)充說(shuō)明
4.1 磨邊區(qū)域水的循環(huán)利用,磨邊區(qū)域產(chǎn)生的磨邊廢水經(jīng)過(guò)沉淀池去除二氧化硅粉顆粒后,經(jīng)過(guò)潛水泵再返回到磨邊機(jī)儲(chǔ)水槽中進(jìn)行利用,以充分利用水資源。
4.2 純水間制超純水產(chǎn)生的濃水因其含礦物質(zhì)較多無(wú)法再將其再用于制造超純水,但可以將其收集起來(lái)用于廠區(qū)清潔及花草養(yǎng)護(hù),以提高水資源的利用率。
4.3 清洗層電玻璃、白玻璃、電池芯片的去離子水,經(jīng)過(guò)上述工序的去離子水中會(huì)新增粉塵或清洗劑,其PH值約為8-9。這部分水經(jīng)過(guò)過(guò)濾及酸堿綜合后將可作為純水制造的源水使用。
4.4 建議設(shè)計(jì)充分考慮水循環(huán)方案。
(5)、氣部分,車間生產(chǎn)過(guò)程中使用以下幾種氣體:
1、壓縮空氣,用到壓縮空氣的設(shè)備有:
1.1 磨邊機(jī);
1.2 一次激光機(jī)、二次激光機(jī)、三次激光機(jī);
1.3 二次清洗機(jī);
1.4 每臺(tái)PECVD沉積室,每?jī)膳_(tái)真空泵系統(tǒng);
1.5 磁控線(PVD);
1.6 掃邊機(jī);
1.7 芯片測(cè)試機(jī);
1.8 反壓機(jī);
1.9 層壓機(jī);
1.10 組件測(cè)試機(jī);
1.11 組件打膠區(qū);
1.12 氣體房;
1.13 純水間;
1.14 芯片清洗;
1.15 自動(dòng)化傳送線。
注:空氣壓縮機(jī)的供氣壓力為8-9Kg,輸氣管道的正常壓力在8Kg。因輸氣管道較長(zhǎng),在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)的各主要用氣點(diǎn)設(shè)置氣壓表,以便及時(shí)了解管道氣壓情況及點(diǎn)檢之用。
2、氮?dú)?,用到氮?dú)獾脑O(shè)備有:
2.1 一次激光機(jī)、二次激光機(jī)、三次激光機(jī)、掃邊機(jī);
2.2 工件架擦拭;
2.3 純水設(shè)備;
2.4 PECVD真空倉(cāng)室、干泵;
2.5 磁控線(PVD);
2.6 氣體房氣路柜;
2.7 尾氣處理(壓力6-7kg)
注:氮?dú)獾墓鈮毫?-5Kg,輸氣管道的正常壓力在4Kg。因輸氣管道較長(zhǎng),在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)的各主要用氣點(diǎn)設(shè)置氣壓表,以便及時(shí)了解管道氣壓情況及點(diǎn)檢之用。
3、特殊氣體,需使用特殊氣體的設(shè)備為PECVD沉積室。
(6)、車間設(shè)備排氣部分:
1、清洗機(jī)
1.1一次清洗機(jī)每臺(tái)的排氣量為 1500立方米/小時(shí)(在超凈間外,可忽略)
1.2二次清洗機(jī)每臺(tái)的排氣量為 1000立方米/小時(shí),采用直接排至室外,排氣所含的成份為熱水蒸氣,熱水蒸氣的溫度約為60攝氏度。
1.3芯片清洗機(jī)每臺(tái)的排氣量為1500立方米/小時(shí),采用直接排至室外,排氣所含的成份為熱水蒸氣,熱水蒸氣的溫度約為60攝氏度。
1.4白玻璃清洗機(jī)每臺(tái)的排氣量為900立方米/小時(shí),采用直接排至室外,排氣所含的成份為熱水蒸氣,熱水蒸氣的溫度約為60攝氏度。
2、激光掃邊機(jī)
激光掃邊機(jī)每臺(tái)風(fēng)機(jī)的排風(fēng)量為3800立方米/小時(shí)。激光掃邊機(jī)的排氣主要含有大氣及激光掃邊過(guò)程中產(chǎn)生的粉塵。此排氣可以通過(guò)專門(mén)的排氣管道直接排至大氣中。
3PECVD油泵、維持泵,PVD油泵,層壓機(jī)油泵排氣
3.1PECVD每臺(tái)的排氣量為180立方米/小時(shí);
3.2PVD每臺(tái)的排氣量為120立方米/小時(shí);
3.3層壓機(jī)每臺(tái)的排氣量為 252立方米/小時(shí);
3.4以上油泵排氣可以通過(guò)一條特殊管道(如鍍鋅圓管加一防爆排風(fēng)機(jī))來(lái)實(shí)現(xiàn)從車間至外界的排氣。油泵排出氣體的主要成份為大氣及油泵自身的油氣,排出的氣體可以通過(guò)除油后直接排往大氣。
4、PECVD干泵排氣
4.1PECVD每臺(tái)干泵的排氣量為5立方米/小時(shí),
4.2其主要排出的氣體為PECVD工藝過(guò)程中未完全反應(yīng)完的特殊氣體及特殊氣體在工藝過(guò)程中產(chǎn)生的粉塵。
4.3PECVD干泵排氣因其存在特殊氣體及粉塵,因此從PECVD干泵出來(lái)的氣體需要經(jīng)過(guò)燃燒爐及除塵器處理后方可將尾氣排入大氣中。
4.4各臺(tái)PECVD干泵出來(lái)的尾氣需要經(jīng)過(guò)管道集中起來(lái)后送入燃燒爐,尾氣管道需要采用無(wú)縫鋼管及無(wú)縫焊接。
5、氣路柜、氣瓶柜、VMB排氣
5.1 氣路柜每臺(tái)需求的排氣量為300立方米/小時(shí);其排氣的主要成分為大氣,特殊情況下會(huì)含有一些泄露的工藝氣體,
5.2 氣瓶柜每臺(tái)需求的排氣量為250立方米/小時(shí);
5.3 VMB每臺(tái)需求的排氣量為50立方米/小時(shí);
5.4其排氣的主要成分為大氣,特殊情況下會(huì)含有一些泄露的工藝氣體。工藝氣體在遇到大氣的情況下都能自燃,因此上述排氣可以通過(guò)管道直接排至大氣中。
(7)、設(shè)備發(fā)熱量
1、車間內(nèi)會(huì)存在加熱的設(shè)備或存在散熱的設(shè)備
1.1各種清洗機(jī)的風(fēng)刀產(chǎn)生的熱風(fēng),因采用排風(fēng)管,此處的熱風(fēng)可忽略;
1.2PECVD沉積爐,其加熱系統(tǒng)功率為12KW,設(shè)備的尺寸為1970*1627*1365mm,共有六個(gè)散熱面,散熱面的表面溫度為40-50攝氏度。
1.3預(yù)熱爐,其加熱功率為40KW,設(shè)備尺寸為1970*1627*1365mm,共有六個(gè)散熱面,散熱面的表面溫度為40-50攝氏度。
1.4退火爐,其加熱功率為30KW,設(shè)備尺寸為,共有六個(gè)散熱面,散熱面的表面溫度為40-50攝氏度。
1.5做完工藝的工件架,此工件架為一個(gè)含37塊鋁基板及72片導(dǎo)電玻璃的設(shè)備,此設(shè)備的溫度需要在3小時(shí)內(nèi)從200攝氏度降到50攝氏度。設(shè)備及玻璃的尺寸分別為1320*1200*950mm,1245*635*3.2mm。
1.6層壓主機(jī)外及層壓好的電池板,層壓主機(jī)區(qū)域溫度為40-60攝氏度,層壓好的電池板溫度為120-130攝氏度,尺寸為1245*635*8mm,電池板的溫度需在3小時(shí)內(nèi)要降至50攝氏度。